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半導(dǎo)體晶圓接觸角測量儀

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更新時間：2025-02-25 08:29:56瀏覽次數(shù)：22次

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蘇州英蒔特儀器科技有限公司

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產(chǎn)品簡介

所謂接觸角是指在一固體水平平面上滴一液滴，固體表面上的固－液－氣三相交界點處，其氣－液界面和固－液界面兩切線把液相夾在其中時所成的角

詳細(xì)介紹

所謂接觸角是指在一固體水平平面上滴一液滴，固體表面上的固－液－氣三相交界點處，其氣－液界面和固－液界面兩切線把液相夾在其中時所成的角。

本公司儀器采用現(xiàn)代化工藝制造，儀器采用的專用CMOS數(shù)字?jǐn)z像機(jī)，配倍高分辨率變焦式顯微鏡和高亮度LED背景光源系統(tǒng)，搭配三維樣品臺，可進(jìn)行工作臺上下、左右、前后等方向移動。實現(xiàn)微量進(jìn)樣及上下、左右精密移動。同時還設(shè)計了伸縮桿結(jié)構(gòu)工作臺，能適應(yīng)在不同用戶材料厚度加大的場合。儀器框架可以根據(jù)式樣的大小適量調(diào)節(jié)，擴(kuò)大了儀器的使用范圍。軟件搭配修正功能，測量多次后的結(jié)果可以同時保存在同一報告下，能讓用戶更好的對材料數(shù)據(jù)進(jìn)行管控。該儀器設(shè)計美觀大方、操作簡單、符合用戶所需。適用于各種行業(yè)測定接觸角的用戶。

設(shè)備規(guī)格
設(shè)備主機(jī)
外形尺寸	900mm（長）×550mm(寬)×730mm(高)
重量	30KG
整機(jī)調(diào)節(jié)	整機(jī)水平測試/調(diào)節(jié)
電源
電壓	100～240VAC
功率	150W
頻率	50/60HZ
空間
平臺尺寸	12in
試樣	12in×15mm
樣品臺調(diào)節(jié)	自動3D移動平臺
樣品臺調(diào)節(jié)	行程160mm，精度0.1mm 360°無極旋轉(zhuǎn) 旋轉(zhuǎn)精度，0.01°
注射系統(tǒng)
滴液方式	精密
控制方式	軟件數(shù)字控制
滴液精度	0.01μl
注射器	高精密氣密性注射器
接液方式	精密電機(jī)控制
接液高度	智能判定
容量	100μl/500μl/1000μl(標(biāo)配500μl)
針頭	0.51mm全不銹鋼超疏水針頭(標(biāo)配)
速度	1μL/min ～2000μL/min
軟件
接觸角范圍	0～180°
分辨率	0.01°
全自動測量	全自動一鍵測量功能（可編程測試點位，多點自動測量）
數(shù)據(jù)量	一鍵分析12in晶圓>100個數(shù)值
形態(tài)譜圖	2D形態(tài)數(shù)據(jù)譜圖
接觸角測量方式	全自動、半自動、手動
分析方式	懸滴法、停滴法（2/3態(tài)）、氣泡捕獲法、座滴法、座針法、插板法
分析方法	靜態(tài)分析、自動增液縮液動態(tài)分析、潤濕動態(tài)分析、實時分析、雙邊分析、前進(jìn)后退角分析
測試方法	圓法、橢圓/斜橢圓法、微分圓/微分橢圓法、Young-lapalace、寬高法、切線法、區(qū)間法
表/界面張力測試
測試范圍	0～3000mN/m
分辨率	0.01 mN/m
張力測量方式	全自動
分析方式	氣泡捕獲法、懸滴法、實時譜圖
表面自由能
測試方法	Zisman、OWRK、WU、WU 2、Fowkes、Antonow、Berthelot、EOS、粘附功、浸濕功、鋪展系數(shù)
數(shù)據(jù)處理
輸出方式	自動生成，可導(dǎo)出/打印EXCEL、Word、譜圖等多種報告格式