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小型快速退火爐\紅外燈管加熱爐

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$小型快速退火爐\紅外燈管加熱爐$

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更新時間：2023-04-07 09:09:05瀏覽次數(shù)：386次

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產(chǎn)品簡介

小型快速退火爐應(yīng)用：小型快速退火電爐采用紅外燈管加熱，通過滑動爐體實現(xiàn)快速降溫

詳細介紹

小型快速退火爐應(yīng)用：

小型快速退火電爐采用紅外燈管加熱，通過滑動爐體實現(xiàn)快速降溫。紅外線燈管是填充氣體內(nèi)含有部分鹵族元素或鹵化物的充氣白熾燈。這種紅外燈管加熱元件是為滑軌爐設(shè)計的,升溫速率可達到120℃/S。
應(yīng)用于半導(dǎo)體或太陽能電池基片退火。也可用于快速熱退火、快速熱氧化、快速熱氮化、硅化物合金退火、電極合金化、氧化物生長、離子注入后退火、薄膜沉積等工藝試驗.

小型快速退火爐特點：

小型快速退火電爐可在真空/氣氛/空氣等不同環(huán)境下通過快速移動爐體，加之強風(fēng)冷設(shè)計，可對樣品進行快速升降溫處理；管內(nèi)測溫設(shè)計，
溫控精度高,額定升溫速率50℃/s;緊湊的臺式設(shè)計，快速連接法蘭，減少了爐管因安裝造成損壞的可能，方便操作。

小型快速退火爐參數(shù)：

產(chǎn)品名稱	RTP-小型快速退火爐
額定功率	9KW
額定電壓	220AC 50/60Hz
額定溫度	1000°C
連續(xù)工作	950°C(<1 小時)
加熱區(qū)長度	300mm
恒溫區(qū)長度	100mm
加熱元件	紅外燈管
溫度控制	國產(chǎn)程序控溫系統(tǒng)可編程50段程序控溫；
控制精度	±1℃
石英管尺寸	Φ110*380MM
爐管材質(zhì)	石英管
滑動距離	355mm
滑動方式	手動滑動
建議升溫速度	室溫900℃：30℃/sec 900℃~1000℃： 10℃/sec
外形尺寸	950 X 350 X 530 mm
重量	45Kg
標(biāo)準配置	氣路一套（含真空壓力表）石英管一支、高溫手套一副。76MM的樣品石英架一個。