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洛陽西格馬高溫電爐有限公司


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小型快速退火爐\紅外燈管加熱爐

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更新時間:2023-04-07 09:09:05瀏覽次數(shù):386次

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產(chǎn)品簡介

小型快速退火爐應(yīng)用:小型快速退火電爐采用紅外燈管加熱,通過滑動爐體實現(xiàn)快速降溫

詳細介紹

小型快速退火爐應(yīng)用:

小型快速退火電爐采用紅外燈管加熱,通過滑動爐體實現(xiàn)快速降溫。紅外線燈管是填充氣體內(nèi)含有部分鹵族元素或鹵化物的充氣白熾燈。這種紅外燈管加熱元件是為滑軌爐設(shè)計的,升溫速率可達到120℃/S。
應(yīng)用于半導(dǎo)體或太陽能電池基片退火。也可用于快速熱退火、快速熱氧化、快速熱氮化、硅化物合金退火、電極合金化、氧化物生長、離子注入后退火、薄膜沉積等工藝試驗.

小型快速退火爐特點:

小型快速退火電爐可在真空/氣氛/空氣等不同環(huán)境下通過快速移動爐體,加之強風(fēng)冷設(shè)計,可對樣品進行快速升降溫處理;管內(nèi)測溫設(shè)計,
溫控精度高,額定升溫速率50℃/s;緊湊的臺式設(shè)計,快速連接法蘭,減少了爐管因安裝造成損壞的可能,方便操作。

 

小型快速退火爐參數(shù):

產(chǎn)品名稱 RTP-小型快速退火爐
額定功率 9KW
額定電壓 220AC 50/60Hz
額定溫度 1000°C
連續(xù)工作 950°C(<1 小時)
加熱區(qū)長度 300mm
恒溫區(qū)長度 100mm
加熱元件 紅外燈管
溫度控制 國產(chǎn)程序控溫系統(tǒng)可編程50段程序控溫;
控制精度 ±1℃
石英管尺寸 Φ110*380MM
爐管材質(zhì) 石英管
滑動距離 355mm
滑動方式 手動滑動
建議升溫速度 室溫900℃:30℃/sec
900℃~1000℃: 10℃/sec
外形尺寸 950 X 350 X 530 mm
重量 45Kg
標(biāo)準配置 氣路一套(含真空壓力表)石英管一支、高溫手套一副。76MM的樣品石英架一個。

 

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