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電鏡磁場(chǎng)消除系統(tǒng)（主動(dòng)消磁器）

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產(chǎn)品型號(hào)HSR2iX系列

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深圳市冬紅科技有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

電鏡磁場(chǎng)消除系統(tǒng)（主動(dòng)消磁器）HSR2iX系列通過(guò)動(dòng)態(tài)創(chuàng)建幾乎相等且方向相反的磁場(chǎng)來(lái)穩(wěn)定電子束相關(guān)的設(shè)備周圍的環(huán)境磁場(chǎng)，改善各種電子束、離子束設(shè)備周圍惡劣的磁場(chǎng)環(huán)境，保障設(shè)備使用的磁場(chǎng)環(huán)境要求。

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品概述：

HSR2iX系列電鏡磁場(chǎng)消除系統(tǒng)（主動(dòng)消磁器）通過(guò)動(dòng)態(tài)創(chuàng)建幾乎相等且方向相反的磁場(chǎng)來(lái)穩(wěn)定電子束相關(guān)的設(shè)備周圍的環(huán)境磁場(chǎng)，改善各種電子束、離子束設(shè)備周圍惡劣的磁場(chǎng)環(huán)境，保障設(shè)備使用的磁場(chǎng)環(huán)境要求。

HSR2iX系列電鏡磁場(chǎng)消除系統(tǒng)（主動(dòng)消磁器）由磁傳感器感知單元、磁場(chǎng)發(fā)生單元、磁場(chǎng)控制單元、顯控單元等構(gòu)成。綜合了低噪聲磁敏感技術(shù)、消磁線圈優(yōu)化設(shè)計(jì)技術(shù)、磁場(chǎng)自動(dòng)控制技術(shù)，實(shí)現(xiàn)了對(duì)寬頻帶雜散磁場(chǎng)的自動(dòng)跟蹤補(bǔ)償，達(dá)到穩(wěn)定磁場(chǎng)的目的。

根據(jù)具體用途，HSR2iX系列磁場(chǎng)消除系統(tǒng)具有三種不同型號(hào)：HSR2i01、HSR2i02和HSR2i03。（特殊情況可定制）

工作原理：

通過(guò)三分量磁場(chǎng)傳感器實(shí)現(xiàn)雜散磁場(chǎng)的感知，并將感知到的信號(hào)送入智能磁場(chǎng)控制單元；智能磁場(chǎng)控制單元實(shí)時(shí)產(chǎn)生一個(gè)電流信號(hào)，該電流通過(guò)磁場(chǎng)產(chǎn)生單元產(chǎn)生與雜散磁場(chǎng)方向相反、大小相等的磁場(chǎng)，在工作區(qū)實(shí)現(xiàn)了磁場(chǎng)的疊加從而得到穩(wěn)定的磁場(chǎng)環(huán)境。

技術(shù)參數(shù)：

型號(hào)	HSR2i01	HSR2i02	HSR2i03
用途	消除所有類型電子顯微鏡的交流磁場(chǎng)	消除所有類型電子顯微鏡的交流和直流磁場(chǎng)	消除半導(dǎo)體潔凈室中CDSEM工具的12kHz磁場(chǎng)。也可以消除這些工具的交流和直流磁場(chǎng)
消磁線圈	干擾磁場(chǎng)消除繞組系統(tǒng)自檢繞組	固有地磁場(chǎng)消除繞組干擾磁場(chǎng)消除繞組系統(tǒng)自檢繞組	固有地磁場(chǎng)消除繞組干擾磁場(chǎng)消除繞組系統(tǒng)自檢繞組
待消除磁場(chǎng)	X, Y, Z磁場(chǎng)	X, Y, Z磁場(chǎng)	X, Y, Z磁場(chǎng)
磁場(chǎng)測(cè)量類型	AC RMS and pk-pk	Real time field AC RMS and pk-pk DC incremental	Real time field AC RMS and pk-pk DC incremental
測(cè)量精度	±0.5% Reading ± 100pT	±0.5% Reading ± 1 nT	±0.5% Reading ± 1 nT
磁場(chǎng)動(dòng)態(tài)范圍	≤60 mG（6.0 µT）	≤4.8 μT pk-pk	5 μT pk-pk
頻率帶寬	2.5 Hz至3kHz	DC至5 kHz	DC至12 kHz
噪聲限值	<0.7nT RMS(0.1 Hz ～ 3 kHz)	1.5nTRMS(0.1Hz ～ 5 kHz)	0.5 nT RMS(0.1 Hz ～ 12 kHz)
直流漂移	N/A	< 2 nT/ 24 hours	< 2 nT/ 24 hours
直流磁場(chǎng)限值	N/A	± 200 μT max	± 200 μT max
系統(tǒng)響應(yīng)時(shí)間	10 µs內(nèi)	10 µs內(nèi)	2 µs內(nèi)
磁場(chǎng)穩(wěn)定性	<2 nT/24 h@（20℃~25℃，預(yù)熱0.5 h）	<2nT/24h@（20℃~25℃，預(yù)熱0.5 h）	<2nT/24 h@（20℃~25℃，預(yù)熱0.5 h）
衰減系數(shù)	>50 dB @0.1 Hz >30 dB @50 Hz	>60 dB @0.1 Hz >40 dB @50 Hz >20 dB @5 kHz	>60 dB @0.1 Hz >40 dB @50 Hz >20 dB @10 kHz