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深圳市冬紅科技有限公司


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電鏡磁場(chǎng)消除系統(tǒng)(主動(dòng)消磁器)

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產(chǎn)品型號(hào)HSR2iX系列

品       牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地深圳市

化工機(jī)械設(shè)備網(wǎng)采購(gòu)部電話:0571-88918531QQ:2568841715

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更新時(shí)間:2022-10-21 16:31:29瀏覽次數(shù):9485次

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經(jīng)營(yíng)模式:生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品:7條

所在地區(qū):廣東深圳市

聯(lián)系人:陳 (銷售經(jīng)理)

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

電鏡磁場(chǎng)消除系統(tǒng)(主動(dòng)消磁器)HSR2iX系列通過(guò)動(dòng)態(tài)創(chuàng)建幾乎相等且方向相反的磁場(chǎng)來(lái)穩(wěn)定電子束相關(guān)的設(shè)備周圍的環(huán)境磁場(chǎng),改善各種電子束、離子束設(shè)備周圍惡劣的磁場(chǎng)環(huán)境,保障設(shè)備使用的磁場(chǎng)環(huán)境要求。

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品概述:

HSR2iX系列電鏡磁場(chǎng)消除系統(tǒng)(主動(dòng)消磁器)通過(guò)動(dòng)態(tài)創(chuàng)建幾乎相等且方向相反的磁場(chǎng)來(lái)穩(wěn)定電子束相關(guān)的設(shè)備周圍的環(huán)境磁場(chǎng),改善各種電子束、離子束設(shè)備周圍惡劣的磁場(chǎng)環(huán)境,保障設(shè)備使用的磁場(chǎng)環(huán)境要求。

HSR2iX系列電鏡磁場(chǎng)消除系統(tǒng)(主動(dòng)消磁器)由磁傳感器感知單元、磁場(chǎng)發(fā)生單元、磁場(chǎng)控制單元、顯控單元等構(gòu)成。綜合了低噪聲磁敏感技術(shù)、消磁線圈優(yōu)化設(shè)計(jì)技術(shù)、磁場(chǎng)自動(dòng)控制技術(shù),實(shí)現(xiàn)了對(duì)寬頻帶雜散磁場(chǎng)的自動(dòng)跟蹤補(bǔ)償,達(dá)到穩(wěn)定磁場(chǎng)的目的。

根據(jù)具體用途,HSR2iX系列磁場(chǎng)消除系統(tǒng)具有三種不同型號(hào):HSR2i01、HSR2i02和HSR2i03。(特殊情況可定制)


工作原理:

通過(guò)三分量磁場(chǎng)傳感器實(shí)現(xiàn)雜散磁場(chǎng)的感知,并將感知到的信號(hào)送入智能磁場(chǎng)控制單元;智能磁場(chǎng)控制單元實(shí)時(shí)產(chǎn)生一個(gè)電流信號(hào),該電流通過(guò)磁場(chǎng)產(chǎn)生單元產(chǎn)生與雜散磁場(chǎng)方向相反、大小相等的磁場(chǎng),在工作區(qū)實(shí)現(xiàn)了磁場(chǎng)的疊加從而得到穩(wěn)定的磁場(chǎng)環(huán)境。



技術(shù)參數(shù):

型號(hào)

HSR2i01

HSR2i02

HSR2i03

用途

消除所有類型電子顯微鏡的交流磁場(chǎng)

消除所有類型電子顯微鏡的交流和直流磁場(chǎng)

消除半導(dǎo)體潔凈室中CDSEM工具的12kHz磁場(chǎng)。也可以消除這些工具的交流和直流磁場(chǎng)

消磁線圈

干擾磁場(chǎng)消除繞組

系統(tǒng)自檢繞組

固有地磁場(chǎng)消除繞組

干擾磁場(chǎng)消除繞組

系統(tǒng)自檢繞組

固有地磁場(chǎng)消除繞組

干擾磁場(chǎng)消除繞組

系統(tǒng)自檢繞組

待消除磁場(chǎng)

X, Y, Z磁場(chǎng)

X, Y, Z磁場(chǎng)

X, Y, Z磁場(chǎng)

磁場(chǎng)測(cè)量類型

AC RMS and pk-pk

Real time field

AC RMS and pk-pk  

DC incremental

Real time field

AC RMS and pk-pk  

DC incremental

測(cè)量精度

±0.5% Reading ± 100pT

±0.5% Reading ± 1 nT

±0.5% Reading ± 1 nT

磁場(chǎng)動(dòng)態(tài)范圍

≤60 mG(6.0 µT)

≤4.8 μT pk-pk

5 μT pk-pk

頻率帶寬

2.5 Hz至3kHz

DC至5 kHz

DC至12 kHz

噪聲限值

<0.7nT RMS(0.1 Hz ~ 3 kHz)

1.5nTRMS(0.1Hz ~ 5 kHz)

0.5 nT RMS(0.1 Hz ~ 12 kHz)

直流漂移

N/A

< 2 nT/ 24 hours

< 2 nT/ 24 hours

直流磁場(chǎng)限值

N/A

± 200 μT max

± 200 μT max

系統(tǒng)響應(yīng)時(shí)間

10 µs內(nèi)

10 µs內(nèi)

2 µs內(nèi)

磁場(chǎng)穩(wěn)定性

<2 nT/24 h@(20℃~25℃,預(yù)熱0.5 h)

<2nT/24h@(20℃~25℃,預(yù)熱0.5 h)

<2nT/24 h@(20℃~25℃,預(yù)熱0.5 h)

衰減系數(shù)

>50 dB @0.1 Hz

>30 dB @50 Hz

>60 dB @0.1 Hz

>40 dB @50 Hz

>20 dB @5 kHz

>60 dB @0.1 Hz

>40 dB @50 Hz

>20 dB @10 kHz


產(chǎn)品應(yīng)用:


1. 生命科學(xué)領(lǐng)域的冷凍電鏡

2. 材料科學(xué)領(lǐng)域的掃描電鏡

3. 化工領(lǐng)域中的原理分析用電鏡

4. 半導(dǎo)體工藝中的缺陷分析用電鏡

5. 納米制造領(lǐng)域的加工精度保證


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