產(chǎn)品展示
TPY-2型自動(dòng)橢圓偏振測(cè)厚儀
【簡(jiǎn)單介紹】
【詳細(xì)說(shuō)明】
產(chǎn)品特點(diǎn):
儀器采用消光法自動(dòng)測(cè)量薄膜厚度和折射率,具有精度高、靈敏度高以及自動(dòng)控制等特點(diǎn)。光源采用氦氖激光器,功率穩(wěn)定波長(zhǎng)精度高。
儀器采用USB接口與電腦連接,配套軟件功能齊全,具有多樣數(shù)據(jù)采集及處理方式,適用于不同用戶的需要。
規(guī)格與主要技術(shù)指標(biāo):
測(cè)量范圍:1nm-4000nm 測(cè)量zui小值:≤1nm 入射角:30°- 90°精度≤0.05°
度盤刻度:每格1度 允許樣品尺寸:φ10-φ140mm,厚度≤18mm
偏振器方位角范圍:0°- 180° 外形尺寸:680*390*310mm
測(cè)量膜厚和折射率重復(fù)性精度分別為:0.5nm和0.005
主機(jī)重量:26kg
儀器測(cè)量精度:±0.5nm(薄膜厚度在10-100nm時(shí))
光學(xué)中心高度:80mm 成套性:主機(jī)、電控系統(tǒng)、USB接口、配套軟件
成套性:主機(jī)、電控系統(tǒng)、USB接口、配套軟件(需配計(jì)算機(jī))
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