采用*的防靜電滾輪貼膜技術(shù)
手動(dòng)晶圓/Frame裝卸料
自動(dòng)送膜/貼膜/切膜（DAF自動(dòng)對(duì)位/剝膜/貼膜）
自動(dòng)收卷膠膜隔離層膜
自動(dòng)收卷廢膜晶圓尺寸：4"~ 8"/ 8" ~12"（可定制兼容型）
晶圓厚度：>=100um（can handle with 50um thinner wafer under the premise of safety for manual loading）
Tape規(guī)格：Blue /UV/DAF 膜(可以選配"三合一"貼膜兼容功能）
Frame規(guī)格： 6"/8"/12"Disco Frame
載臺(tái)Type：真空氣道、多孔金屬，微孔陶瓷可選
載臺(tái)加熱：室溫~100℃（選配）
電源功耗：AC220V 8A
控制系統(tǒng)：PLC Base
靜電消除：離子風(fēng)泵

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