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定制快速退火爐

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更新時(shí)間：2023-07-01 09:10:19瀏覽次數(shù)：416次

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鄭州諾泰科技有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

該定制快速退火爐是一款由RTP (快速熱處理) 管式爐、多通道質(zhì)子流量計(jì)系統(tǒng)及真空系統(tǒng)組成，專為半導(dǎo)體基片和太陽(yáng)能電池或其他樣品（尺寸可達(dá)3"）退火而設(shè)計(jì)。

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品概述：
該定制快速退火爐是一款由RTP (快速熱處理) 管式爐、多通道質(zhì)子流量計(jì)系統(tǒng)及真空系統(tǒng)組成，專為半導(dǎo)體基片和太陽(yáng)能電池或其他樣品（尺寸可達(dá)3"）退火而設(shè)計(jì)。這款設(shè)備是采用紅外燈加熱，升溫速度是50℃/秒。 30 段精確溫度控制，RS485接口和控制軟件可以通過(guò)計(jì)算機(jī)控制爐子運(yùn)行并顯示溫度曲線。
技術(shù)參數(shù)：

產(chǎn)品名稱	定制快速退火爐
部分：管式爐
產(chǎn)品名稱	開啟式上下溫區(qū)RTP管式爐
溫度	1000度
控制器	LCD觸摸屏
爐管尺寸	石英管外徑80mm/內(nèi)徑72mm 單側(cè)開口
加熱區(qū)	300mm
爐型	開啟式
供電電源	電壓：380V；頻率:50 hz；三相
加熱元件	鹵素?zé)艏訜?
升溫速率	30 C/秒
熱電偶	K 型熱電偶測(cè)物料處溫度
溫度控制器	30段高精度數(shù)字可編程溫度控制器
第二部分混氣系統(tǒng)
量程	MFC1：氧氣（O2）0-200sccm MFC2：氬氣（Ar）0-200sccm
第三部分真空系統(tǒng)
飛越VDR-4 1L/S +粉塵過(guò)濾器配套防腐數(shù)顯真空計(jì)