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精密烤膠臺(tái)，高精度烘膠機(jī)

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精密烤膠臺(tái)，高精度烘膠機(jī)概述：用于晶圓的單面烘烤，可用于預(yù)烘烤（Pre-bake），前烘（softbake），底膠涂覆（PrimerVapor）和后烘烤(hardbake堅(jiān)膜)工藝

詳細(xì)介紹

精密烤膠臺(tái)，高精度烘膠機(jī)概述：

用于晶圓的單面烘烤，可用于預(yù)烘烤（Pre-bake），前烘（soft bake），底膠涂覆（Primer Vapor）和后烘烤(hardbake堅(jiān)膜)工藝。適應(yīng)于半導(dǎo)體硅片，載玻片，晶片，基片，ITO導(dǎo)電玻璃等工藝，制版的表面涂覆后，薄膜烘干，固化。熱板溫度穩(wěn)定度高，重復(fù)性好?？稍诠さV企業(yè)、科研、教育等單位作生產(chǎn)、科研、教學(xué)之用。

精密烤膠臺(tái)，高精度烘膠機(jī)技術(shù)性能：

加熱面積尺寸：160mm*160mm、220mm*220mm，多尺寸定制

控溫范圍：室溫--200、300/400/500/600℃

溫度分辨率：0.1℃

溫度波動(dòng)度：≤±0.5℃

溫度均勻性：≤±0.5/1℃

電源輸入：AC220V 10A

加熱功率：1500W

熱板表面: 由硬質(zhì)陽(yáng)極氧化鋁制成

精密烤膠臺(tái)，高精度烘膠機(jī)特點(diǎn)：

穩(wěn)定性能非常好，溫度穩(wěn)定度可達(dá)±0.5℃。

溫度調(diào)節(jié)范圍寬：室溫-500℃