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Teledyne HPM-2002雙傳感器真空計

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產(chǎn)品簡介

屢獲殊榮的2002系列寬范圍雙傳感器真空計有兩種安裝方式，面板安裝或傳感器安裝。

詳細介紹

Teledyne HPM-2002雙傳感器真空計

屢獲殊榮的2002系列寬范圍雙傳感器真空計有兩種安裝方式，面板安裝或傳感器安裝。

HPM-2002雙傳感器真空計是一種面板安裝儀器，帶有基于微處理器的顯示單元，儀表管和互連電纜。兩個傳感元件（微機械皮拉尼和壓阻式傳感器）可在1 X 10-4至1000 Torr的壓力下提供精確的真空測量。駐留在微處理器中的算法確保傳感器之間的無縫過渡。HPM-2002-OBE雙傳感器真空計是儀表的系統(tǒng)安裝版本。HPM-2002-OBE以緊湊的配置提供2002系列的所有性能特性，您可以選擇12種信號輸出選項。

應用

半導體蝕刻

濺射室

負載鎖定系統(tǒng)

過程控制和測試

等離子涂層