高純氫氣凈化器是從航天燃料電池技術(shù)中延伸開發(fā)的新型產(chǎn)品，以水電解氫＼瓶裝氫氣為原料氣，經(jīng)催化除氧，冷凝和吸附干燥及過濾除塵獲得≥99.9995%高純氫氣。如需要氫氣純度≥99.9999%,則需采用合金吸氣材料進一步凈化氫氣中殘余雜質(zhì).本裝置結(jié)構(gòu)緊湊，體積較小，純化效果好，能耗低，催化劑可*使用,無需再生處理，吸附劑在裝置內(nèi)再生循環(huán)使用。超高純氫氣在電子工業(yè)部門,用作氫氣還原制取半導體超純材料鍺和硅,及用在半導體器件和集成電路的外延工序中及載氣和燃燒用氣。