北氧牌高純氦氣終端純化器采用組合式凈化氣的工藝路線，凈化原理是：原料氣首先通過催化反應(yīng)器，由高效催化氧化劑氧化脫除氫、氧、一氧化碳、甲烷（烴類）等大部分氣體雜質(zhì)，得到高品質(zhì)氦氣。如氣體純度要求達(dá)到>99.9999%，則采用復(fù)合金屬合金凈化劑吸收殘余的氦氣中的微量氣體雜質(zhì)，得到超高純氦氣。
產(chǎn)品氣流量：1-300Nm3/h
產(chǎn)品純度：99.9999-99.9999999%
特點(diǎn)：本產(chǎn)品可現(xiàn)場再生，材料選用不銹鋼拋光材料，處理精度高，流量大，壽命10年以上，經(jīng)過凈化后的氣體可達(dá)到ppb級凈化。
應(yīng)用范圍：航天航空、化學(xué)研發(fā)、微電子、半導(dǎo)體工業(yè)、半導(dǎo)體工藝設(shè)備、氣體分析、研發(fā)。