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KASHIYAMA SDE系列真空泵

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更新時(shí)間：2023-01-14 13:46:57瀏覽次數(shù)：83次

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上海爾迪儀器科技有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

詳細(xì)介紹

Large CapacitySDE Series

Standard type for harsh process

01
FEATURE

Available up to
200kL/min.
?

02
FEATURE

Best for
large wafer and FPD.

03
FEATURE

Durable to
various processes.

Major Products

Spec. / Products *1	SDE1220	SDE20M20	SDE30M20	SDE4060	SDE4030M20	SDE8060	SDE804060
Max. pumping speed [L/min] *2	20,000	30,000	50,000	60,000	80,000	120,000	190,000
Ultimate pressure [Pa] *2	0.5			0.8	0.5	0.8	0.5
Supply voltage (50/60Hz)	3Phase AC200～220V,?380～480V
Dimensions [mm] WHL *3	W:400 H:780 L:930	W:450 H:950 L:1000	W:450 H:950 L:1000	W:750 H:1200 L:1600	W:800 H:1580 L:1320	W:850 H:1220 L:1600	W:1000 H:1980 L:1850

*1) Smaller than 20,000L/min pumps are also available. *2) Without N2 purge.
*3) Package size. Dimensions vary by specification.
* Contact us about international standard compliance. Spec. & name of products are subject to change without prior notice.