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等離子清洗機(jī) YSP63FA

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更新時(shí)間：2023-08-16 16:31:53瀏覽次數(shù)：112次

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產(chǎn)品簡介

詳細(xì)介紹

可進(jìn)行樣品傳輸系統(tǒng)定制
● 操作快捷方便：放入樣品收納盒、自動(dòng)處理、取出收納盒。
● 軟性基板也可以進(jìn)行傳送操作。
● 傳送速度可在Hi-Low間調(diào)節(jié)。
● 可通過網(wǎng)絡(luò)進(jìn)行遠(yuǎn)程操作（選購品）。

規(guī)格

型號(hào)	YSP63FA
模式	RIE（DP模式選購）
高頻輸功率	600W
反應(yīng)臺(tái)尺寸	W385×D362mm
內(nèi)腔尺寸	W395×D378×H45mm（內(nèi)尺寸）
反應(yīng)氣體	2進(jìn)氣系統(tǒng)（氧氣、氬氣）
反應(yīng)氣體流量控制	質(zhì)量流量控制器
真空泵	旋轉(zhuǎn)式真空泵（約500L/min）
氣體導(dǎo)入口	反應(yīng)氣體2個(gè)、填充氣體1個(gè)、空氣1個(gè)
外形尺寸	W1860×D1100×H1800mm