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氣體用超小型流量傳感器 RAPIFLOW (R)

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產(chǎn)品型號FSM

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更新時間：2022-11-24 18:34:30瀏覽次數(shù)：137次

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喜開理（中國）有限公司

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產(chǎn)品簡介

是壓縮空氣、氮氣用超小型流量傳感器。輕量、高速響應(yīng)，電子部件等的吸附確認。行業(yè)半導(dǎo)體制造工序（后工序）

詳細介紹

【超小型、輕量】（FSM-X系列）
通過分離傳感頭實現(xiàn)了超小型化。
實現(xiàn)了比以往體積減少52%，輕量4G、8mm。
產(chǎn)品包括傳感頭單體和帶流路模塊兩種類型。

【非線性特性】（FSM-X系列）
將模擬輸出作為非線性特性，提高了低流量領(lǐng)域的分辨率。

【高速響應(yīng)】（FSM-V?FSM-X系列）
實現(xiàn)了以往無法實現(xiàn)的5ms的高速響應(yīng)設(shè)計

【雙方向測量】（FSM-V?FSM-X系列）
可進行雙方向測量，吸附確認用途。

型號	名稱	配管口徑（Φ、M)	備注
FSM-X	流量開關(guān)（非線性）	4,5
FSM-V	流量傳感器（線性）	1.8,4,5
FSM-V-D	顯示器	-
FSM-VFM	FSM?FSM-V專用直管型過濾器	-
FSM-A	模擬輸出1點		2009年03月31日銷售中止【停產(chǎn)產(chǎn)品】代替產(chǎn)品：FSM2系列
FSM-N	開關(guān)輸出PNP 2點、模擬輸出1點		2009年03月31日銷售中止【停產(chǎn)產(chǎn)品】代替產(chǎn)品：FSM2系列
FSM-P	開關(guān)輸出PNP 2點、模擬輸出1點		2009年03月31日銷售中止【停產(chǎn)產(chǎn)品】代替產(chǎn)品：FSM2系列