一、1、2、3型機的標配硬件 專為NEXIV VMR設計的、高品質(zhì)專用物鏡 該物鏡數(shù)值孔徑高達 0.35，工作距離長達 50 毫米，經(jīng)過專門的消畸變設計，可以充分保證工件視窗的窗內(nèi)測量精度，特別適合于視頻圖象的精密坐標測量。 具有15 倍變焦比的光學頭3 個型號（1、2、3 型）各自有 5 級放大倍率。15倍變焦比的5段自動變焦鏡組，可以在各段（倍率）間進行自由切換，以滿足低倍大視場觀察搜索和高倍精密測量兩方面的需求。
放大倍率與視場（毫米） 
上述總放大倍率為17 英寸液晶顯示器，設置為 SXGA（1280×1024）模式時，顯示器屏幕上的放大倍率。已升級的TTL 激光自動對焦裝置該裝置具有對焦速度快、工作距離長、測量精度高的特點，它可以在低倍條件下實現(xiàn)對具有高度差的狹窄區(qū)域的自動對焦。它還可以進行每秒1000 點的高速掃描，實現(xiàn)多種高精度 Z 軸掃描測量。
TTL激光自動對焦裝置的構成 
用激光掃描得到的錫球表面（三維鳥瞰顯示） 高速高精度影象自動對焦由于采用了新的圖象數(shù)據(jù)處理時序以及逐行掃描CCD，使影象自動對焦具有更高的速度和準確度。影象自動對焦適用于不能使用 TTL 激光自動對焦的場合，例如對傾斜度較大的斜面以及回轉(zhuǎn)體外側(cè)邊界的對焦。利用多重影象自動對焦功能，能夠同時測量視場內(nèi)多個不同高度的點。多種照明方式VMR 系列有多種照明方式可供選擇，能夠為工件提供理想的照明，這包括：八方向獨立可控LED環(huán)形斜照明，分內(nèi)外兩層照明環(huán)，其中：
內(nèi)環(huán)照明（與光軸的夾角為 37度）；
外環(huán)照明（與光軸的夾角為 75度）。 反射照明（頂部光）； 透射照明（底部光）。 
8方向LED環(huán)形照明 
*的照明手段，使您能夠看清通常不易看清的邊界，從而可以準確地檢出邊界。此外，VMR系列的照明條件可以程序控制、記憶，編輯也很方便，可以做多語句同時。 二、高倍機的標配硬件新開發(fā)的高倍頭 VMR-Z120X這種新的鏡頭組，通過使用可以相互切換兩個物鏡與變焦頭的有機組合，實現(xiàn)從 1倍到 120 倍的光學放大倍率。該系統(tǒng)在高倍下具有非常高的工件視窗窗內(nèi)測量重復精度，8 級放大倍率總能使您能找到一個合適的倍率，并且可以實現(xiàn)從低倍大視場搜索，直到最小測量線寬約為1 微米的高倍觀察與精密測量。放大倍率與視場（毫米） 
上述總放大倍率為 17 英寸液晶顯示器，設置為 SXGA（1280×1024）模式時，顯示器屏幕上的放大倍率。低放大倍率 
高放大倍率 
細光束、高分辨率 TTL 激光自動對焦裝置 該裝置配備有高數(shù)值孔徑的物鏡，具有激光光束細、光斑直徑小的特點，能夠進行超小激光光點測量。能夠顯著提高在纖薄的透明或半透明材料（如光阻材料）表面，或不規(guī)則反射面上對焦及掃描的性能。可以以為每秒1000 點的速度進行高速掃描測量，從而在多種應用中實現(xiàn)超高精度 Z 軸測量。 
TTL激光自動對焦裝置的構成
三種照明類型通過三種 CNC 可控照明____高倍垂直反射與透射、暗場照明，可以向各種工件提供的照明，從而確保各種待測邊界可被準確、可靠地探測。三、LU型機的標配硬件CFI60 光學系統(tǒng)使用代表了尼康光學技術的的CFI60 光學系統(tǒng)，能攝取明亮的、高對比度的圖象，使系統(tǒng)更加適合于大型液晶顯示板及其彩色濾色片的測量。該系統(tǒng)既能通過圖象處理技術實現(xiàn)工件的尺寸測量，又能用于觀察目的。此外，它還可以通過使用高對比度DIC，增強DIC 成象能力。 
LU型光學頭 LU型用CFI60系列物鏡群 通用電動物鏡轉(zhuǎn)換器通過對電動物鏡轉(zhuǎn)換器的操控，CNC 測量程序可以改變放大倍率，并為顯微觀察選擇放大倍率以及的物鏡。從測量到數(shù)據(jù)處理的自動控制易于使用的軟件可控制系統(tǒng)所有的功能，從各種照明的控制，到圖象處理以及載物臺的移動，測量過程實現(xiàn)自動化控制，確保測量結果的準確一致。使用 LU 型時，以下操作需要手動進行：明場與暗場照明的切換；視場光闌及孔徑光闌的設置；起偏器*、檢偏器*與Nomarski 棱鏡的設置。但此項是有電動型選配件的。電動旋轉(zhuǎn)起偏器／檢偏器（選配）
可選配的電動旋轉(zhuǎn)起偏器／檢偏器使操作人員能夠根據(jù)工件情況優(yōu)化圖象對比度。這樣在進行 DIC 成象時，可以看到更加明顯的微分干涉效果。
各種 CFI60 物鏡
CFI60 光學系統(tǒng)限度地抑制了雜光，并具有數(shù)值孔徑（N.A.）高和工作距離（W.D.）長的特點，所以能夠攝取明亮的、高對比度的圖象。VMR 系列可使用包括 CFI LU 平場 BD在內(nèi)的各種 CFI60 通用物鏡鏡頭。
*使用EPI系列物鏡時, 需使用LU物鏡轉(zhuǎn)接環(huán)。
LCD觀測用CFI物鏡
*工作距離與玻片厚度較正環(huán)的定位有關。
放大倍率及視場大小
*出廠選件為0.5x鏡筒透鏡或1.0x鏡筒透鏡
LCD 物鏡鏡頭的作用請比較使用平場EPI物鏡和LCD物鏡，隔著玻璃時的觀察效果。使用LCD觀測用CFI物鏡，即便是隔著玻璃，圖象依然清晰可見。 
Nomarski DIC 圖象
CFI LU平場BD 20x 物鏡 采用 DIC 顯微術，微小的高度差可以呈現(xiàn)為明亮的高對比度圖象，所以能夠觀察 ACF（各向異性導電膜）焊接過程中的顆粒分布情況。 暗場圖象
CFI LU平場BD 50x 物鏡 | 
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