半導體工藝冰水機Chiller

應用與半導體生產(chǎn)過程中及測試環(huán)節(jié)的溫度控制，具有溫度穩(wěn)定性高、溫度范圍廣、故障診斷、外部通信等豐富功能的裝置。在半導體制作過程/激光加工機/分析裝置/FPD制造裝置等用途中成果較多。

半導體工藝冰水機Chiller

密閉循環(huán)系統(tǒng)

整個系統(tǒng)為全密閉系統(tǒng)，高溫時不會有油霧、低溫不吸收空氣中水份，系統(tǒng)在運行中不會因為高溫使壓力上升，低溫自動補充導熱介質。

安全防護

具有自我診斷功能：相序斷相保護器、冷凍機過載保護，高壓壓力開關，過載繼電器、熱保護裝置等多種安全保障功能。不用更換導熱介質，而且不需要加壓的情況下就可以實現(xiàn)-60℃~200℃連續(xù)控溫。

半導體工藝冰水機Chiller

應用于半導體行業(yè)蝕刻裝置，CMP (工藝機械拋光)，實驗室精密裝置、高精度測試儀器、醫(yī)美設備、固態(tài)激光器、模具溫控等。

溫控精度（空載時）±0.05℃

觸摸屏操作，人機交互界面

連鎖控制、可靠性高

定時運轉、液面降低、停電復位、防凍功能

溫度波動小

占地面積小、保護裝置

快速升溫/降溫、提高生產(chǎn)效率、降低運營成本和保障生產(chǎn)

運行穩(wěn)定、準確控溫