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技術(shù)文章

壓力開(kāi)關(guān)傳感器

閱讀:78          發(fā)布時(shí)間:2022-2-28
  壓力開(kāi)關(guān)傳感器是一種將壓力轉(zhuǎn)換成電流/電壓的器件,可用于測(cè)量壓力、位移等物理量。壓力傳感器的種類很多,其中硅半導(dǎo)體傳感器因其體積小、重量輕、成本低、性能好、易集成等優(yōu)點(diǎn)得到廣泛的應(yīng)用。硅壓阻式傳感器屬于其中的一種,它是在硅片上用擴(kuò)散或離子注入法形成四個(gè)阻值相等的電阻條,并將它們接成一個(gè)惠斯登電橋。當(dāng)沒(méi)有外加壓力時(shí),電橋處于平衡狀態(tài),電橋輸出為零。當(dāng)有外加壓力時(shí),電橋失去平衡而產(chǎn)生輸出電壓,該電壓大小與壓力有關(guān),通過(guò)檢測(cè)電壓,即可得到相應(yīng)的壓力值。但這種傳感器由于四個(gè)橋臂電阻不*匹配而引起測(cè)量誤差,零點(diǎn)偏移較大,不易調(diào)整。
 
  Motorola公司生產(chǎn)的X型硅壓力開(kāi)關(guān)傳感器則可以克服上述缺點(diǎn)。與惠斯登電橋不同,Motorola磚利技術(shù)采用單個(gè)X型電阻元件,而不是電橋結(jié)構(gòu),其壓敏電阻元件呈X型,因而稱為X型壓力開(kāi)關(guān)傳感器。該X型電阻是利用離子注入工藝光刻在硅膜片上,并采用計(jì)算機(jī)控制的激光修正技術(shù),溫度補(bǔ)償技術(shù),使Motorola硅MPX系列壓力開(kāi)關(guān)傳感器的精度很高,其模擬輸出電壓正比于輸入的壓力值和電源偏置電壓,具有的線性度,且靈敏度高,長(zhǎng)期重復(fù)性好。此系列中的MPX2100DP壓力傳感器是一種高精度硅壓式壓力傳感器,本系統(tǒng)采用MPX2100DP作為壓力開(kāi)關(guān)傳感器,可以很好地滿足系統(tǒng)的要求,它具有如下特點(diǎn):
 
 ?、儆捎诓捎眉す馕⒄{(diào)技術(shù),使電橋零漂輸出很小,一般小于±1mV;
 
 ?、趥鞲衅黛`敏度較高,為40mV±1.5mV;
 
  ③傳感器由熱敏電阻組成溫度補(bǔ)償網(wǎng)絡(luò),在-40℃~ +125℃范圍內(nèi)有較好的溫度補(bǔ)償效果,從而提高了傳感器的精度;
 
 ?、芫哂械木€性度(±0.25%F.S);
 
 ?、萦休^寬的工作溫度范圍(-40℃~ +125℃);
 
 ?、拊试S過(guò)載大(400%)。
 
  文章來(lái)源:上海卓盼電子科技有限公司

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