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無(wú)油渦旋真空泵

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更新時(shí)間:2022-10-21 16:15:54瀏覽次數(shù):687

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

GWSP系列無(wú)油渦旋真空泵由泵頭、電機(jī)、機(jī)座等構(gòu)成。泵頭含有動(dòng)、定渦旋盤(pán)、曲軸、密封件、風(fēng)扇和泵殼等。渦旋盤(pán)為圓形平面和其上伸出的一條或幾條漸開(kāi)線螺旋形盤(pán)壁組成,定渦旋盤(pán)與動(dòng)渦旋盤(pán)組成渦旋盤(pán)付構(gòu)成它的基本抽氣機(jī)構(gòu)。工作過(guò)程中動(dòng)、定渦旋盤(pán)互不接觸,依靠相對(duì)運(yùn)動(dòng)形成容積不斷縮小的新月形吸氣腔和壓縮腔,通過(guò)吸氣、壓縮、排氣的循環(huán),使氣體從抽氣口吸入、排氣口排出,實(shí)現(xiàn)對(duì)被抽腔體抽真空。
該泵不

詳細(xì)介紹

特點(diǎn)
抽速范圍廣,從1升/秒到17升/秒
適用于電源電壓與頻率,110/220/380/460V,50/60Hz
高效環(huán)保,不返油也不噴油,創(chuàng)造潔凈真空和潔凈工作環(huán)境
操作簡(jiǎn)單,能在大氣壓和真空之間頻繁啟動(dòng)與關(guān)閉
低振動(dòng),低噪音,低能耗
重量輕、體積小
用途

鍍膜,PVD/CVD/LPD

LED/LCD/激光管抽真空與封裝
真空爐/單晶爐/烘箱
電子束焊接/激光焊接
手套箱/排氣臺(tái)
預(yù)處理室/樣品傳輸室抽真空
激光管抽真空/封接
真空檢漏/He質(zhì)譜檢漏
稀有/特殊氣體回收/再循環(huán)
冷凝泵再生
分子泵前級(jí)
空間環(huán)境模擬
表面分析儀器/能譜儀/掃描電鏡
光束線


技術(shù)指標(biāo)

型號(hào)

GWSP75

GWSP150

GWSP300

GWSP600

GWSP1000

抽速

50Hz

l/s

1.0

2.0

4.3

8.7

16.6

l/min

60.0

120.0

258.0

522.0

996.0

m3/h

3.6

7.2

15.5

31.3

59.8

極限真空度

Pa

≤8.0

≤6.0

≤2.6

≤1.0

≤1.0

Torr

≤6.0×10-2

≤4.0×10-2

≤1.9×10-2

≤7.5×10-3

≤7.5×10-3

mbar

≤8.0×10-2

≤6.0×10-2

≤2.6×10-2

≤1.0×10-2

≤1.0×10-2

噪音

dB(A)

≤52

≤57

≤61

≤63

≤63

漏率

1×10-6mbar·l·s-1

大進(jìn)/排氣壓力

MPa

0.1 / 0.13

工作環(huán)境溫度

5~40

大水處理能力

G/day

50

60

單相
電機(jī)

功率

kW

0.25

0.25

0.55

0.75

--

電壓

V

50~60Hz/110~115 : 200~230

--

轉(zhuǎn)速

rpm

50Hz /1425; 60Hz /1725

--

接頭形式

 

北美,歐洲,英國(guó)/愛(ài)爾蘭,印度

--

三相
電機(jī)

功率

kW

--

0.37

0.55

0.75

1.50

電壓

V

--

50 Hz/200~230 : 380~415; 60 Hz/200~230 : 460

轉(zhuǎn)速

rpm

--

50Hz /1425; 60Hz /1725

進(jìn)/排氣口

 

KF25/16

KF25/16

KF25/16

KF40/16

KF40/16x2

外形尺寸

mm

405x225x260

430x250x280

490x290x340

520x316x360

580x360x400

凈重

kg

15

18

27

31

52

冷卻形式

風(fēng)冷

其它

帶氣鎮(zhèn)閥

 

使用注意事項(xiàng)

不能抽對(duì)人體有害或者易爆、易燃或腐蝕性氣體,或者含有化學(xué)品、溶劑、以及能生成粉末的物質(zhì),以免由于爆炸或者燃燒引起人身傷害。
進(jìn)氣溫度不能超過(guò)50℃,如果超過(guò)該溫度,必須在進(jìn)氣管路上安裝冷卻裝置,使進(jìn)氣溫度低于50℃。

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