設(shè)計特點 · 熱式原理 · 一體化設(shè)計 · 滿量程從 5sccm 到 1000slpm · 響應(yīng)時間不超過 2 秒鐘 · 操作壓力可達(dá) 20mpa · 對安裝位置不敏感 · 316ss 材質(zhì)，允許測量腐蝕性氣體 · 無直管段安裝要求 · 單電源供電 技術(shù)參數(shù) 流量范圍 ：從 0-5sccm 到 0-1000slpm n 2 ，具體請參考表一 響應(yīng)時間 ： 1 ～ 2 秒 精 度 ： ± 1% 滿量程（除 204a 型）； ---------± 1.5% 滿量程（ 204a 型） 重 復(fù) 性 ： ± 0.2% 滿量程 量 程 比 ： 50:1 （ 2%-100% 滿量程） 環(huán)境和操作溫度 ： -10 ～ 70 ℃ zui大操作壓力 ： 3000psig （ 20mpa ） ，具體請參考表一 零點漂移： ± 0.05 % 滿量程 / ℃ 范圍漂移 ： ± 0.05 % 讀數(shù) / ℃ 壓力漂移 ： 0.1%/atm （相對于 n 2 ） 安裝方向 ： 對位置不敏感 預(yù)熱時間 ： 10 分鐘 電氣連接 ： 卡式 （ 20 針）或 d 型（ 9 針） 設(shè)定點輸入流量信號輸出 ：0-5vdc/0-5vdc （zui小負(fù)載電阻 2k ω ）； -------------------------0-10vdc/0-10vdc （zui小負(fù)載電阻 3k ω ）； -------------------------1-5vdc/1-5vdc （zui小負(fù)載電阻 2k ω ）； -------------------------4-20ma/4-20ma （請參考下面的說明）； -------------------------1-5vdc/4-20ma （請參考下面的說明） 對于流量信號輸出為 4-20ma 的負(fù)載電阻： 環(huán)路電壓為 6.5-15vdc 時： 0-450 ω 環(huán)路電壓為 15-30vdc 時： 200-750ω 供應(yīng)電源 ： 電壓輸出：＋ 12( ± 5 ％ ) （僅適用于 0-5vdc 和 1-5vdc 流量信號輸出）或 +15( ± 10 ％ )vdc 電流輸出：＋ 15( ± 5 ％ ) 或 +24( ± 15 ％ )vdc 電流消耗：＜ 250madc 重 量 ：請參考表一

結(jié)構(gòu)材質(zhì);

主體： 316ss 傳感器組件 ： 316lss 孔： 316ss 閥構(gòu)成部件 （接液）： 302ss ， 316ss ， 430fss ， sandvik?1802 （除 202 、 221 、 222 和 251 型）；302ss ， 316ss ， sandvik?1802 （ 202 、 221 、 222 和 251 型） 密封材質(zhì)（" o "型環(huán)和閥座）： buna n ， epdm ， kalrez ， neoprene ， viton （除 202a 、 203a 和 204a 型）；buna n ， viton （ 202a 、 203a 和 204a 型） 過程連接： 316ss ----------------------------------表 一

型 號	流量范圍 zui小 / zui大 （ n 2 標(biāo)定）	zui大操作壓力psig （ mpa ）	重 量lbs （ kg ）
201	0-5sccm/0-10slpm	1000 （ 6.9 ）	1.2 （ 0.54 ）
202	0-10slpm/0-100slpm	1000 （ 6.9 ）	4.1 （ 1.86 ）
221	0-5sccm/0-10slpm	3000 （ 20.7 ）	4.1 （ 1.86 ）
222	0-10slpm/0-100slpm	3000 （ 20.7 ）	4.1 （ 1.86 ）
251	0-10slpm/0-50slpm	1000 （ 6.9 ）	1.4 （ 0.64 ）
202a	0-10slpm/0-100slpm	200 （ 1.4 ）	5.1 （ 2.31 ）
203a	0-100slpm/0-500slpm	200 （ 1.4 ）	10.9 （ 4.94 ）
204a	0-500slpm/0-100slpm	200 （ 1.4 ）	10.9 （ 4.94 ）

訂貨時須提供以下信息：

1 、產(chǎn)品型號 2 、電氣接口 3 、設(shè)定點輸入 / 流量信號輸出 4 、密封材質(zhì)（閥座 / “ o "型環(huán)） 5 、接口尺寸和類型 6 、流量范圍 7 、介質(zhì)（氣體類型） 8 、工作溫度 9 、入口壓力 p1 10 、出口壓力 p2 11 、標(biāo)定溫度（如 0 ℃ 、 20 ℃、21.1℃、25℃ ） 12 、其它要求