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YAG激光劃片機(jī)系列

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武漢三工光電設(shè)備制造有限公司

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YAG激光劃片機(jī)系列(YAG laser scribing machine series)SYS50A /SYS50B / SYS100 / SYN50設(shè)備性能YAG激光劃片機(jī)系列設(shè)備，工作光源采用Nd:YAG激光器和聲光調(diào)制系統(tǒng)、數(shù)控X/Y工作臺(tái)，步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)，在電腦控制下精確運(yùn)動(dòng)，控制軟件使程序的編輯和修改簡(jiǎn)單方便，并實(shí)時(shí)顯示運(yùn)動(dòng)軌跡。工作臺(tái)采用雙氣倉(cāng)真空吸附系統(tǒng)，T型結(jié)構(gòu)雙工作位交替工作。系統(tǒng)采用流行的模塊化設(shè)計(jì)，關(guān)鍵部件均采用進(jìn)口產(chǎn)品。整機(jī)結(jié)構(gòu)合理、劃片速度快、精度高、功能全、操作簡(jiǎn)單方便，能24小時(shí)*連續(xù)工作，各項(xiàng)性能指標(biāo)穩(wěn)定可靠，故障率低，加工成品率高，適用面廣，在太陽(yáng)能行業(yè)得到廣泛的應(yīng)用和用戶的高度肯定。應(yīng)用領(lǐng)域廣泛應(yīng)用于：太陽(yáng)能行業(yè)單晶硅、多晶硅、非晶硅帶太陽(yáng)能電池片（cell）和硅片（wafer）的劃片（切割切片）和刻槽。太陽(yáng)能行業(yè)非晶硅薄膜電池板的刻膜和劃線。電子行業(yè)硅、鍺、砷化鎵等半導(dǎo)體襯底材料的劃片和切割。主要技術(shù)參數(shù)激光波長(zhǎng)1.064μm劃片精度≤±10μmzui大劃片厚度1.2mm劃片線寬≤50μm激光重復(fù)頻率200Hz~50kHzzui大劃片速度120mm/s 激光zui大功率≥50W ≥100W工作臺(tái)幅面350×350mm使用電源380V（220V）/50Hz/5kVA冷卻方式外掛式恒溫循環(huán)水冷工作臺(tái)雙氣倉(cāng)真空吸附，T型臺(tái)雙工位交替工作