四路高溫真空CVD設備

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產(chǎn)品型號KJ-T1200-S60K-4C

品牌

廠商性質生產(chǎn)商

所在地鄭州市

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更新時間：2022-10-21 16:28:49瀏覽次數(shù)：250次

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鄭州科佳電爐有限公司

經(jīng)營模式：生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品：14條

所在地區(qū)：河南鄭州市

聯(lián)系人：王倩（銷售）

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)品介紹：

KJ-T1200-S60K-4C型四路高溫真空CVD設備由KJ-T1200滑動式快速退火管式爐+真空系統(tǒng)+供氣系統(tǒng)組成，Z高溫度可以達到1200度，極限真空可以達到10-3Pa，供氣系統(tǒng)是流量調節(jié)可以是質子流量計，可以對多種氣體進行精確的混氣，然后導入到管式爐內部。

KJ-T1200-S60K-4C系列快速退火爐爐管兩端安裝真空法蘭，真空度用分子泵可以到10-5Torr，機械泵

詳細介紹

應用范圍：

KJ-T1200-S60K-4C型四路高溫真空CVD設備是一種特殊的高真空CVD系統(tǒng)，是高校、科研院所、工礦企業(yè)做高溫氣氛燒結、氣氛還原、CVD實驗、真空退火用的理想產(chǎn)品。

規(guī)格參數(shù)：

產(chǎn)品名稱	四路高溫真空CVD設備
產(chǎn)品型號	KJ-T1200-S60K-4C
工作溫度	1100°C
zui高溫度	1200°C
加熱速率	建議：0- 10°C/min {zui大：0-20℃/min}
加熱區(qū)	三溫區(qū)
加熱區(qū)長度	200+350+200mm
控溫精度	±1°C
爐管直徑	OD60mm
爐管長度	大約1200mm-1400mm
真空法蘭	兩個不銹鋼密封法蘭，法蘭上已經(jīng)安裝數(shù)字式真空顯示計，和閥門通過機械泵真空壓力可以達到5x10-2 torr，泄漏率zui大6 mtorr/min
溫控	智能PID多段程序控溫
加熱曲線	30段可編程
功率	4KW
電壓	220V，50HZ，單相
質子流量計	4路精密質子流量計：數(shù)字顯示、氣體流量自動控制。 MFC 1范圍: 0~100 sccm MFC 2范圍: 0~200 sccm MFC 3范圍: 0~200 sccm MFC 4范圍: 0~500 sccm 氣路:4路流量精度: 0.2% 進氣和出氣接口: 1/4" 卡套一個混氣罐。每路氣路都有一個獨立的不銹鋼針閥控制。通過控制面板上的旋鈕來調節(jié)氣體流量。