YAMATO等離子清洗機PDC510

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更新時間：2025-04-18 11:01:40瀏覽次數(shù)：25次

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浚和（上海）儀器科技有限公司

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產(chǎn)品簡介

高頻等離子表面處理裝置■操作性·功能●射頻13.56Mhz0-500W高功率機型，發(fā)生器自動匹配，無需調(diào)節(jié)反射波，進一步增加的操作的便捷性

詳細介紹

高頻等離子表面處理裝置

■操作性·功能
●射頻13.56Mhz 0-500W高功率機型，發(fā)生器自動匹配，無需調(diào)節(jié)反射波，進一步增加的操作的便捷性。
●標(biāo)準(zhǔn)配備數(shù)字式皮拉尼傳感器，實時顯示真空度，使得控制更為精確。
●一體成型鋁制腔體，腔體材質(zhì)結(jié)實可靠而且無需擔(dān)憂因為腔體材質(zhì)的原因?qū)е聵悠肥艿轿廴尽?/span>

■安全性·保護
●標(biāo)準(zhǔn)裝備自我診斷功能，可實時監(jiān)測和了解機器的運轉(zhuǎn)狀態(tài)。
●裝載有過電流漏電保護開關(guān)、自診斷回路、異常時蜂鳴器報警等安全功能。

■產(chǎn)品優(yōu)勢
●DP和RIE模式標(biāo)準(zhǔn)配備即可利用等離子的化學(xué)性質(zhì)又可以有效利用
其物理性質(zhì)，工藝應(yīng)用范圍更加廣泛。。
●原則上所有材質(zhì)的樣品都可以進行清洗，對清洗樣品材質(zhì)沒有要求。
●液晶觸摸屏控制，操作簡單方便。
●標(biāo)準(zhǔn)配備產(chǎn)生等離子均勻性很好的平行平板電極。
●標(biāo)準(zhǔn)裝備多種安全功能，安全措施綿密。

■用途
●CSPBGACOB基板等離子清洗
●去除有機膜和金屬氧化膜
●印刷電路基板的干式清洗
●材料表面活化處理
●LDE封裝

■構(gòu)成圖

■技術(shù)規(guī)格

型號		PDC510
方式		RIE模式/DP模式
性能	發(fā)生器功率：	0-500W
	發(fā)生器頻率：	射頻RF13.56Mhz
	發(fā)生器匹配方式：	自動匹配（Auto matching）
構(gòu)成	腔體材質(zhì)：	一體成型鋁制腔體
	腔體內(nèi)尺寸：	W500×D300×H200mm
	電極尺寸：	W400×D200
	反應(yīng)氣體：	二路工藝氣體，可支持氧氣、氬氣、氮氣等非腐蝕性氣體
	控制顯示方式：	液晶觸摸屏、全自動控制
	真空度顯示：	數(shù)字式皮拉尼傳感器，實時顯示腔體內(nèi)真空度。
	反應(yīng)氣體流量控制：	MFC 質(zhì)量流量計
	門：	鉸鏈門帶觀察窗
	外形尺寸：	W700×D700×H1285mm
	真空泵：	干式真空泵 NEODRY 36E（油泵可選）
	真空泵抽速：	36m³/h
	電源規(guī)格：	三相200V 8A
	重量：	約180kg